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方阻測試儀

簡要描(miao)述:Filmetrics R50 是KLA電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試家族的最新產品。R50方(fang)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試儀是KLA超(chao)45年電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技術地位之作(zuo)。電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)和監控對于任何使(shi)用導電(dian)(dian)(dian)薄膜(mo)的行業都(dou)至(zhi)關重(zhong)要,從半導體制(zhi)造到可穿(chuan)戴技術所需的柔性(xing)電(dian)(dian)(dian)子(zi)產品。R50在金屬膜(mo)均(jun)勻性(xing)分布、離子(zi)摻雜和注入表征、薄膜(mo)厚(hou)(hou)度和電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率分布、以及非接觸膜(mo)厚(hou)(hou)等(deng)量(liang)(liang)測(ce)(ce)均(jun)進行了優(you)化加強。

  • 產品型號:R-50
  • 廠商性質(zhi):代理商
  • 更新時(shi)間:2022-06-09
  • 訪(fang)  問  量:1336
詳情介紹
品牌其他品牌價格區間面議
檢測參數多參數儀器種類臺式
應用領域電子,航天,汽車,電氣,綜合

KLA薄(bo)膜(mo)電阻測量(liang)技術方阻測試儀包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的(de)R50系(xi)列方塊電阻測量(liang)(liang)儀器(qi)可測量(liang)(liang)沉積在各種基材上(shang)的導電片和(he)薄膜(mo),跨越10個數量級范圍電阻率,包括:

半(ban)導體晶(jing)圓基(ji)板(ban)

玻璃(li)基板

塑料(柔性(xing))基材

PCB圖案特(te)征(zheng)

太陽能電池(chi)

平板顯示層和圖(tu)案化特征

金屬(shu)箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術(shu)規(gui)格(ge)

測量(liang)范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度: +/- 1%;

重復度: 小于 0.2%;

樣品圖(tu)中(zhong)無(wu)*的測(ce)量點位(wei),自定義測(ce)量Recipe,可線(xian)性、矩形、

極坐標以及自定義等。

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可(ke)實(shi)現直(zhi)接100mm晶(jing)圓方塊電阻mapping測量

可(ke)放置直徑200mm晶圓(yuan)樣品

R50-EC

非接觸渦(wo)流測(ce)試

自動XY移動臺(tai)-100mm*100mm

可實現直接(jie)100mm晶圓方塊電阻mapping非(fei)接觸測(ce)量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四(si)探針(zhen)測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現直接200mm晶圓方塊電阻(zu)mapping測量(liang)

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自(zi)動(dong)XY移動臺-200mm*200mm

可實現直(zhi)接200mm晶(jing)圓方塊電阻mapping非接觸(chu)測量(liang)

三、應用(yong)

支持廣泛的測(ce)量,包(bao)括但不限于以下(xia)各項(xiang):

金屬膜厚(hou)(hou)度、基板厚(hou)(hou)度、方塊電(dian)阻、電(dian)阻率(lv)、電(dian)導率(lv)、摻雜(za)濃度等。





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