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脈沖激光沉積/分子束外延聯用系統

產品簡介

脈沖激光沉積(PLD)是一種用途非常廣泛的薄膜及納米結構的制備方法。其已成功地應用于各種復雜氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制備。近年來,激光薄膜制備已發展到了分子束外延的水平,即激光分子束外延(Laser-MBE)。Laser-MBE使得激光薄膜生長達到了*的水平,如重構、雜質晶相及島狀生長等等。

產品型號:PLD/Laser-MBE
更新時間:2017-05-14
廠商性質:代理商
訪問量:3142

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 脈沖激光沉積/分子束外延聯用系統

  脈沖激光沉積(PLD)是一種用途非常廣泛的薄膜及納米結構的制備方法。其已成功地應用于各種復雜氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制備。近年來,激光薄膜制備已發展到了分子束外延的水平,即激光分子束外延(Laser-MBE)Laser-MBE使得激光薄膜生長達到了*的水平,如重構、雜質晶相及島狀生長等等。通過與國內外高校的橫向合作,我們可以根據用戶需求,為用戶定制PLD/Laser-MBE聯用系統。此外,我們也能定制磁控濺射及熱蒸發等鍍膜設備。


         該系統具有很高的加熱效率(腔體受熱少)及真空度,因而能夠保持低的污染水平及高穩定的工作性能。所集成的RHEED 圖像調節方便,快捷。系統操作簡便,數分鐘即可完成靶源和樣品的更換。另外,本系統具有大的有效抽速,可以保持非常高的使用效率。

馬建行博士在Oak Ridge國家實驗室建立的 Laser-MBE 系統(附1),在上*實現了(過渡金屬氧化物薄膜的)達原子分辨率級的STM原位觀察,為過渡金屬氧化物性質的微觀機理研究開辟了新的途徑。另外,他為UCR 物理系研制的多功能Laser-MBE系統(附2)也被成功地應用于各種超晶格、多層膜的制備及器件物理的研究。

 

 

1. J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 95, 237210(2005)

2. H.Y. Zhai, J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 97, 167201(2006)

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