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光學表面缺陷分析儀

簡要描述(shu):Lumina AT1光學表面(mian)缺(que)陷(xian)分析儀可對玻璃(li)、半導體及(ji)光電(dian)子材料進(jin)行(xing)表面(mian)檢(jian)(jian)測(ce)。Lumina AT1既能夠檢(jian)(jian)測(ce)SiC、GaN、藍寶(bao)石(shi)和玻璃(li)等透明材料,又(you)能對Si、砷(shen)化鎵、磷化銦(yin)等不透明基板進(jin)行(xing)檢(jian)(jian)測(ce),其(qi)價格優(you)勢使其(qi)成為適合(he)于研(yan)發/小批量(liang)生(sheng)產過程中(zhong)品質管(guan)理(li)及(ji)良(liang)率改善(shan)的有力工(gong)具。

  • 產品(pin)型號(hao):Lumina
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-04-18
  • 訪  問  量:1735
詳情介紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域醫療衛生,化工,電子,汽車,電氣

一、光學表面缺陷分析儀簡介:

Lumina AT1光學表面缺陷分析儀可對玻(bo)璃、半導體及光(guang)電子材料進行表面檢測(ce)。Lumina AT1既能夠(gou)檢測(ce)SiC、GaN、藍寶石(shi)和玻(bo)璃等透(tou)明(ming)材料,又能對Si、砷化(hua)鎵、磷(lin)化(hua)銦等不透(tou)明(ming)基(ji)板進行檢測(ce),其(qi)價格(ge)優(you)勢使其(qi)成為適合于(yu)研發/小(xiao)批量(liang)生產過程中(zhong)品質管理及良率改(gai)善的有力工(gong)具(ju)。

Lumina AT1結合散(san)射(she)測量、橢圓偏光(guang)、反射(she)測量與表(biao)面(mian)斜率等基本原理(li),以非破環性(xing)方式對(dui)Wafer表(biao)面(mian)的殘留異(yi)物,表(biao)面(mian)與表(biao)面(mian)下缺陷,形狀變化和(he)薄膜厚度的均勻性(xing)進行檢測。

1.偏振通道(dao)用于薄膜、劃(hua)痕(hen)和應力點;

2.坡度(du)通(tong)道用于凹坑、凸起;

3.反射(she)通道(dao)用于(yu)粗糙表(biao)面(mian)的顆粒;

4.暗場通道(dao)用于(yu)微粒和劃痕;

二、功能:

l 主要功能

1. 缺陷檢測與分類

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一(yi)性測量

4. 表面粗(cu)糙度測(ce)量(liang)

5. 薄膜應力檢測

l 技術特點

1.透明、半透明和不透明的(de)材(cai)料均可測(ce)量,比如(ru)硅(gui)、化(hua)合物(wu)半導(dao)體或金屬基底;

2.實(shi)現亞納米(mi)的(de)薄(bo)膜涂層、納米(mi)顆(ke)粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和(he)其他缺陷(xian)的(de)全表面掃描和(he)成像;

3.150mm晶圓全(quan)表面掃描的(de)掃描時間為3分鐘,50x50mm樣品(pin)30秒內(nei)可(ke)完成掃描并顯示結果;

4.高抗震性能(neng),系統不旋(xuan)轉(zhuan),形狀無關(guan),可容(rong)納(na)非圓形和(he)易碎的(de)基(ji)底材料;

5.高達(da)300x300mm的掃描(miao)區域;可定位缺陷,以便進一步分析;技術能(neng)力(li)

三、應用案例

1. 透明(ming)/非透明(ming)材質表面缺陷檢測

2. MOCVD外延生長成膜(mo)缺陷管控

3. PR膜厚均一(yi)性評價(jia)

4. Clean制(zhi)程(cheng)清(qing)洗效果評價

5. Wafer在(zai)CMP后表面缺陷分析

6. 多個應用領域,如(ru)AR/VR、Glass、光掩模(mo)版、藍寶石、Si wafer等







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