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產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > > 臺階儀 > D-300 D500Alpha-Step臺階儀

Alpha-Step臺階儀

簡要描述(shu):Alpha-Step D-300/500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。Alpha-Step臺階儀光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針(zhen)測(ce)(ce)量技術(shu)的(de)(de)優點(dian)是它是直(zhi)接(jie)測(ce)(ce)量,與(yu)材料(liao)特性無關(guan)。可調節的(de)(de)觸力以(yi)(yi)及探針(zhen)的(de)(de)選(xuan)擇都使其可以(yi)(yi)對(dui)各種結構(gou)和材料(liao)進(jin)行測(ce)(ce)量。通過測(ce)(ce)量粗糙度和應力,可對(dui)工藝進(jin)行量化(hua),確定添加(jia)或去除的(de)(de)材料(liao)量,以(yi)(yi)及結構(gou)的(de)(de)任何變化(hua)。

  • 產品型號:D-300 D500
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-03-10
  • 訪(fang)  問  量:1620
詳情介紹
品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口應用領域醫療衛生,化工,電子,航天,綜合

一. Alpha-Step臺階儀設(she)備特點

  • 臺階高度:幾納米至1000μm(D500 至1200μm)

  • 低觸力:0.03至15mg

  • 視頻:500萬像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校(xiao)正:消除側視(shi)光學系(xi)統引起的失真

  • 圓(yuan)弧(hu)校正:消除(chu)由于探(tan)針的弧(hu)形運動引(yin)起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占(zhan)地面積的臺式(shi)探針式(shi)輪廓(kuo)儀


   主要(yao)應用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應力:2D薄膜應力

   應用領域


    大學,研究實驗室和研究所

  • 半(ban)(ban)導體(ti)和(he)復合半(ban)(ban)導體(ti)

  • SIMS:二次離子質譜

  • LED:發光二極管

  • 太陽(yang)能(neng)

  • MEMS:微電子機械系統

  • 汽車

  • 醫(yi)療設備

二. Alpha-Step臺階儀應用案例

臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度(D-500則是幾納米到1200微米)。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。

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紋(wen)理(li):粗糙度(du)(du)和波紋(wen)度(du)(du)

  Alpha-Step D-300/500 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數。

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外(wai)形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300/500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

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應力:2D薄膜應力

  Alpha-Step D-300/500能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。

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