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Imprint Nano納米壓印

簡(jian)要(yao)描述:納米(mi)壓(ya)(ya)(ya)印(yin)的(de)技術(shu)與工藝特點,*性(xing)地設計和制備工作于(yu)低(di)真空(kong)(kong)環境下,結合正負壓(ya)(ya)(ya)可控調(diao)節并利用壓(ya)(ya)(ya)縮空(kong)(kong)氣(qi)作為壓(ya)(ya)(ya)印(yin)驅(qu)動力(li)的(de),通過壓(ya)(ya)(ya)力(li)傳導(dao)裝置、緩沖與勻壓(ya)(ya)(ya)、壓(ya)(ya)(ya)力(li)調(diao)節控制裝置等手(shou)段實(shi)現(xian)(xian)平(ping)穩(wen)可靠可控的(de)壓(ya)(ya)(ya)印(yin)過程,借助于(yu)多種靈(ling)活的(de)自(zi)動調(diao)節裝置的(de)巧妙(miao)設計與運用,實(shi)現(xian)(xian)壓(ya)(ya)(ya)印(yin)中的(de)自(zi)動找平(ping)調(diao)控,以保證模(mo)板(ban)納米(mi)圖案均勻精確(que)的(de)大面積復制轉移。

  • 產品型號:
  • 廠(chang)商性質(zhi):代理商
  • 更(geng)新時間:2017-05-14
  • 訪  問  量(liang):1150
詳情(qing)介紹

主要特點(dian):

該(gai)納米(mi)壓(ya)印(yin)機利用紫(zi)外曝光或者(zhe)熱壓(ya)固化實現(xian)壓(ya)印(yin)圖(tu)案在壓(ya)印(yin)高分子膠(jiao)層中的復制(zhi),并(bing)通(tong)過各項功能(neng)與(yu)過程(cheng)參(can)量的優化與(yu)篩(shai)選(xuan),通(tong)過遠程(cheng)PLC控(kong)制(zhi)系(xi)統結合觸摸屏單元,實現(xian)納米(mi)壓(ya)印(yin)全過程(cheng)的實時監控(kong)與(yu)全自動化控(kong)制(zhi)。

 

 

技術參數:

YPL-NIL-SI400納米壓印系統:

溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個PSI(對于4英寸晶元);
紫外曝光系統;
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕;
水冷系統;
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠程控制,帶觸摸屏;
手動裝載樣品和模板;
自帶機器控制軟件;
在軟件控制下可實現自動增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統的納米壓印機。

 

:admin@shnti.com



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